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近日，法國波爾多大學(xué)強激光與應(yīng)用研究所（CELIA）的激光－物質(zhì)相互作用研究小組宣布，他們使用在千兆赫 （GHz）脈沖狀態(tài)下工作的飛秒激光，開發(fā)了出一種新的玻璃微鉆孔加工方法，該方法能夠在玻璃上打造出無錐形、細(xì)長的孔，其內(nèi)壁光滑，玻璃中沒有任何裂縫。

通常，用標(biāo)準(zhǔn)單飛秒脈沖激光在玻璃上打孔會形成長度有限且內(nèi)表面粗糙的錐形孔。而這種新的激光－物質(zhì)相互作用機制能夠直接在一個步驟中鉆出高縱橫比的孔，并且無需任何化學(xué)蝕刻。

激光脈沖參數(shù)的選擇對于獲得良好的微細(xì)加工質(zhì)量是非常重要的。飛秒激光千兆赫 （GHz）脈沖模式可能為微電子學(xué)等新應(yīng)用鋪平道路，在微電子學(xué)中，硅中間體很可能被玻璃中間體取代。

飛秒激光以千兆赫脈沖而不是重復(fù)的單脈沖的工作狀態(tài)，使與玻璃材料的相互作用結(jié)合了兩個優(yōu)點：材料中的激光能量沉積分布在更長的時間內(nèi)，從而形成高效、可控的累積狀態(tài)，而飛秒激光脈沖的出色微加工質(zhì)量是守恒的。由此產(chǎn)生的自頂向下的沖擊鉆可得到無錐形、細(xì)長、無裂紋、內(nèi)壁光滑的孔。

關(guān)于CELIA

法國強激光應(yīng)用中心（Centre for Intense Lasers and Applications ，CELIA）研究方向包括激光的發(fā)展、超短強激光物質(zhì)相互作用及其應(yīng)用，從熱密集等離子體物理到激光－分子、激光－原子相互作用。CELIA為外部用戶提供9個設(shè)備齊全的專用端站，由3個最先進的可靠激光系統(tǒng)提供，包括：Ti：Sa AURORE （20 mJ， 1kHz， 25 fs）、Ti：Sa ECLIPSE （150 mJ， 10 Hz， 35 fs）和獨特的Yb：fiber BLASTBEAT （2＊50W 130 fs， 0．66 －2 MHz）。